纯化装置

加氢脱氧纯化装置以一定流量的氮气和氢气同时进入纯化装置，先经氮氢自动配比装置和静态混合器均匀混合，再进入催化脱氧器。

加碳纯化装置在一定温度下，氮气中的余氧与碳催化剂发生氧化反应，生成二氧化碳，化学反式:C+O2=CO2，使氮气中的氧含量≤5PPm。